関西大学システム理工学部 機械工学科

ロボット・マイクロシステム研究室

研究設備


ナノスクライブ社のレーザ3次元造形システムを導入しました

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クリーンルーム


クリーンルーム

陽極接合装置とXeF2ガスエッチング装置

クリーンルーム

露光機(左)とパリレン蒸着装置(右)

クリーンルーム

スプレーコータ

クリーンルーム

アニール炉

クリーンルーム(関西大学ハイテク・リサーチ・コア2階


クリーンルーム

ICP-RIE

クリーンルーム

熱酸化炉

クリーンルーム

PE-CVD

クリーンルーム

スパッタ

ロボット


クリーンルーム

介護ロボットによる食器の片付け

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